中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學(xué)干涉原理,，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌,，廣泛應(yīng)用于光學(xué),，半導(dǎo)體，材料,，精密機(jī)械等等領(lǐng)域,，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析,。測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi),，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

性能參數(shù)

性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),，保證測(cè)量精度高；

2）隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測(cè)量重復(fù)性,；

2、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測(cè)模塊,，能夠定量評(píng)估出外界環(huán)境對(duì)儀器掃描軸的震動(dòng)干擾,，在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測(cè),、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移,、Z向聚焦,、找條紋等測(cè)量前工作。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

在初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

白光干涉儀采用的光學(xué)非接觸式測(cè)量方法，以及具有的測(cè)量精度高,、使用方便,、分析功能強(qiáng)大,、測(cè)量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，加上其光源模式,，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè),。中圖白光干涉儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%,，可為樣品表面測(cè)量提供快速,，便捷的非接觸式3D表面形貌測(cè)量解決方案。比如透明的玻璃表面,，加上增透膜,，其反射率小于1%；也可以用于測(cè)試直至100%反射率的各類高反表面,。